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通过提高太阳能电池制造效率和降低购置成本,Veeco 正在开发新的生产解决方案,以进一步推动太阳能薄膜电池的商业化。 |
主要存在两种 CIGS 薄膜生产工艺:两步硒化法和热沉积法。在硒化法中,铜、铟和镓原子以高能离子形式从固态物中喷出(也叫“溅射”)。硒是在第二步中通过采用高温硒化氢气体的“硒化”过程或通过固态源硒化添加的。
尽管溅镀被认为是一种成熟的薄膜量产技术,不过经验证明,热沉积法具有相当的优势,是一种更好的 CIGS 制造方法。
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