GEN930 是款高性能、低成本及高灵活性的分子束外延设备，适用于材料科学研究。其模块化设计非常适合现今的研发预算，但其无比灵活性使它可不断地扩大性能。该系统集合Veeco的GEN II 分子束外延设备技术，该技术在砷化镓和砷化铝镓的制备方面有非常好的表现。GEN 930系统具有11个蒸镀瓶的连接口，在选择和安排分子蒸镀瓶上有非常好的灵活性，并且可整合实时监测技术，如RHEED、高温计、椭偏仪、RGA、光学式流量监测计和反射光谱仪。