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类金钢石碳系统
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类钻碳系统功能和优点

NEXUS DLC 系统 - 超硬、抗腐蚀 TFMH 涂层薄膜技术

产品详细信息

功能：

  • 业内首类具有量产价值的脉冲滤波阴极电弧
  • 长移距、低压 PVD
  • 支持反应 PVD 工艺
  • 使用可调整的低能耗 NEXUS 420 离子束蚀刻源，实现稳定操作
  • 倾斜的椭圆偏振计，便于蚀刻和沉积端点控制

优点：

  • 卓越的一致性、可重复性和薄膜硬度
  • 提供了致密的、无针孔硅种子层
  • 改进的步进范围，实现更佳的工艺产出
  • 耐久的滑片涂层和放置平台
 
 
 
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