MBE 系统

MBE 系统

GENxcel R&D MBE 系统

GENxcel R&D MBE 系统

高质量的外延层在基板上的直径长达 4 英寸

屡获殊荣的全新 GENxcel™ 系统扩展了 GENxplor™,这是自 2013 年 8 月推出以来最畅销的 MBE 系统,与 GENxplor 系统上的 3 英寸能力相比,在单个 4 英寸基板上具有高品质的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统,12 个源端口和现代电子元件,完全集成到单个框架设计中,以实现最大的实验室空间利用效率。 

 

  • 高质量的外延层在基板上的直径长达 4 英寸
  • 独特的单帧结构易于使用,提供便捷的源访问和改善的可维护性
  • 高效的一体式设计将手动系统与车载电子器件相结合,比其他 MBE 系统节省了 40% 的实验室空间
  • GaAs、氮化物、氧化物等各种材料的尖端研究的理想之选
  • Molly® 软件集成简单程序编写、自动生长控制和“始终开启”的数据记录三大功能
  • 选配的 Nova™ 超高温衬底加热器性能被证实可达 1850°
  • 直接扩展至 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统

CS 行业创新奖 - GENxcel 分子束外延 (MBE) 系统

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