MBE 系统

MBE 系统

GENxplor R&D MBE 系统

GENxplor R&D MBE 系统

业内首个适用于化合物半导体研发市场的一体式 MBE 系统。

Veeco 的获奖 GENxplor™ R&D MBE 系统采用 Veeco 久经验证的 GEN10™ MBE 系统生长室设计,具备无与伦比的工艺灵活性,是 UV LED、高效率太阳能电池和高温超导体等新兴技术材料研究的完美之选。其高效的单帧设计将所有真空硬件与车载电子器件相结合,比其他 MBE 系统小 40%,可有效节省宝贵的实验室空间。由于手动系统被集成在一个单一框架中,因此可减少安装时间。GENxplor MBE 系统的开放式结构设计同样加强了易用性,便于使用裂解蒸镀瓶,且相比其他 MBE 系统更易维护。与 Veeco 近期推出的可伸缩源结合使用时,GENxplor MBE 系统堪称氧化物材料研究领域最先进的系统。

  • 高质量的外延层在基板上的直径长达 3 英寸
  • 独特的单帧结构易于使用,提供便捷的源访问和改善的可维护性
  • 高效的一体式设计将手动系统与车载电子器件相结合,比其他 MBE 系统节省了 40% 的实验室空间
  • GaAs、氮化物、氧化物等各种材料的尖端研究的理想之选
  • Molly® 软件集成简单程序编写、自动生长控制和“始终开启”的数据记录三大功能
  • 选配的 Nova™ 超高温衬底加热器性能被证实可达 1850°
  • 直接扩展至 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统

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