SPECTOR 大范围行星式离子束沉积系统

提高的产量和优异的材料一致性

Veeco 的 SPECTOR® 大范围行星式离子束沉积系统将无可比拟的离子束薄膜品质与接近于电子束系统的批次规模完美地结合在一起。 除了较大的整体涂层区域，坚固的夹具还支持加工直径达 400mm、厚度达 100mm 的基质。 Veeco 提供 16cm RF 高能沉积源和超低污染 RF 中和剂，以确保高沉积速率和高薄膜质量。 为了获得最大化学计量控制和原位基质预清洁或刻蚀支持，该系统还配备了 12cm RF 辅助离子源。

• 离子束质量和行业领先的产量实现了最低经营成本
• 400mm 球体上的优异材料一致性确保了最大产量
• 高电流 RF 离子源提供了高沉积速率
• 大型基质和组件箱支持提供了最大的产品灵活性