SPECTOR Loadlock 离子束沉积系统

出色的产量和可重复性，应用范围十分广泛

Veeco 的 SPECTOR® Loadlock 离子束沉积系统能够在多种应用场合显著提高产量。 SPECTOR Loadlock 可以在加载基底后 5 分钟内迅速开始沉积，使沉积时间少于批量工具通常所需的预处理时间，从而轻松实现了产量的成倍增长。 

成功地维持了工艺参数（如压力、温度、目标曲面组成和离子源动力）的稳定状态，同时增强了系统的可重复性。 对于较少暴露在空气和湿度下的组件，如无线电频率中和剂、生长室衬垫和屏蔽等，SPECTOR Loadlock 用户可以享受较长的平均维护时间间隔 (MTBM)。 凭借这些特点和优势，用户能够以低廉的成本，生产出市场上精度最高的优质薄膜。

• 中/低厚度镀层应用场合的产量显著增加
• 凭借本身更加稳定的工艺条件，改善了系统的可重复性
• 多个关键组件的平均维护时间间隔更长
• 微粒控制功能得到改进