离子束蚀刻

离子束蚀刻

Lancer 离子束蚀刻系统

Lancer 离子束蚀刻系统

独立的离子束蚀刻系统,具有较低的拥有成本和最高质量的蚀刻属性

Veeco 离子束蚀刻优势

离子束蚀刻是在大批量生产环境中制造先进薄膜器件的成熟技术。然而,研发和试生产环境不断创新下一代 MEMS、磁性传感器和数据存储设备,这些设备也依赖于具有业界最佳性能规格的高性能蚀刻系统。Veeco 目前已经在全球范围内安装了超过 300 套离子束蚀刻系统,为薄膜器件应用提供支持。

全新 Lancer IBE 系统

全新 Lancer™ 离子束蚀刻 (IBE) 系统专为智能手机、自动驾驶汽车和其他可实现连接性、功能性和移动性的“物联网”设备中的下一代电子设备的开发和生产而设计。

Lancer 系统在研发和生产环境中提供卓越的设备质量,包括:

  • 一流的系统性能和功能
  • 与之前的 IBE 系列相比,单模块配置减少了占位面积
  • 经过生产验证的技术,现在已有大量的安装基础
  • 大型应用数据库,具有专门的工艺和技术专长
  • Veeco 销售和服务支持基础设施确保实现世界一流的客户满意度   

 

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