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Optium ADS 160 高级切割系统
提高了 TFMH 切削精度和生产量
Veeco 的多功能 ADS 160 高级切削系统适用于晶片分割/裁切、行切片、切削、曲切应用场合,它提高了薄膜磁头 (
TFMH
) 晶片切削的产量和精度。
Optium ADS 160 高级切割系统
平台为
ESD
安全型,且构建符合 SEMI-S22 标准
支持组合刀片,支持自动化处理
高速轴和多主轴选择
刚性结构,加工切割区域最大达 350 mm
开放编程和可视系统(Windows GUI、触摸屏)
旨在自动化集成
由世界领先的
TFMH
加工工具生产商加工和构建
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