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研磨及切割系统
 
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  • Optium ADS-800 高级切割系统
  • Optium ADS 160 高级切割系统
  • Optium ASL 200 切割系统

Optium ADS 160 高级切割系统

切割锯  

提高了 TFMH 切削精度和生产量

Veeco 的多功能 ADS 160 高级切削系统适用于晶片分割/裁切、行切片、切削、曲切应用场合,它提高了薄膜磁头 (TFMH) 晶片切削的产量和精度。


Optium ADS 160 高级切割系统

  • 平台为 ESD 安全型,且构建符合 SEMI-S22 标准
  • 支持组合刀片,支持自动化处理
  • 高速轴和多主轴选择
  • 刚性结构,加工切割区域最大达 350 mm
  • 开放编程和可视系统(Windows GUI、触摸屏)
  • 旨在自动化集成
  • 由世界领先的 TFMH 加工工具生产商加工和构建
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