选择适合您的 MOCVD 系统。
TurboDisc MaxBright GaN MOCVD 多反应室系统
TurboDisc K475 As/P MOCVD 系统
TurboDisc K465i GaN MOCVD 系统
TurboDisc K465 GaN MOCVD 系统
TurboDisc E475 As/P MOCVD 系统
MOCVD 系统功能和优点
功能：
- 统一的 FlowFlange® 技术实现了优异的一致性和可重复性
- 紧凑型集群架构
- 最高容量的配置
- 最高吞吐量的反应室
- TurboDisc 技术很少需要维护，最大程度地提高了系统的可用性
优点：
- 最低的购置成本
- 最高的吞吐量
- 最高的空间利用率
- 最高的资本效率
- 单室或多室层生长
- K465i 无缝传输的工艺
- 可以利用先进技术进行升级
功能：
- 模块设计
- Tunable FlowFlange®
- 高级 RealTemp® 200 温度控制
- 晶片载玻片综合解决方案
- TurboDisc® 高速层流
- 集成式真空预备室
优点：
- 业界领先的生产能力
- 出色的均匀性和可重复性
- 极佳的可再现性
- 功能灵活，可满足特定需求
- 以低维护成本实现最高生产力
- 运行期间的故障停机时间降至最短
功能：
- 统一的 FlowFlange® 技术实现了优异的一致性和可重复性
- TurboDisc 技术很少需要维护，最大程度地提高了系统的可用性
优点：
- 经过生产验证的 GaN MOCVD 系统
- 全自动和维护后只需运行一次即可恢复，实现了行业内最高生产率
功能：
- 将其平台与公认 Veeco K300 MOCVD 系统共享 -- 旨在实现高产量
- 高级 TurboDisc® 反应器技术，高速层流，清洁操作降低了原位烘烤要求
优点：
- 提供基于 GaN 的蓝绿光 LED 和蓝光激光器大批量生产的业内最高产量
- 自动化平台在控制资金成本的同时，为 HB-LED 生产商提供了最大利润。
- 高产量，优异的一致性和可重复性
功能：
- 具备可大批量生产的多结 III-V 聚光器太阳能电池、HB-LED、激光二极管、pHEMT 和 HBT 的业内领先生产能力
- 需要很少维护的 TurboDisc® 技术实现了最大正常运行时间
- 集成的 RealTemp® 200 技术具备了直接晶片温度控制、快速气体交换和界面突变的控制能力
优点：
- 适用于 HB-LED 和聚光器太阳能电池的大批量生产
- 优异的材料质量、加工效率及高生产率
- HB-LED 和 III-V 聚光器太阳能电池的高投资回报