TurboDisc K465 GaN MOCVD 系统

自动运行，可实现最高的生产效率和收益率

通过先进的 TurboDisc 反应室技术，Veeco TurboDisc® K465 GaN MOCVD 可提供业界最高的产能及唯一经过生产验证的自动化 MOCVD 平台，用于 GaN 基蓝光、绿光 LED 和蓝光激光器的量产。可调整反应堆和源模块，可采用多晶片反应堆技术。K465 是一种全自动高产能系统，提供可扩展的平台，延长资产的使用寿命。

在 GaN 基蓝光、绿光 LED 和蓝光激光器生产领域，具有业界最高的 MOCVD 产能
自动化平台可为 HB-LED 制造商带来更多收益，同时控制资本成本
独有的 TurboDisc 技术可确保获得出色的生产良品率
采用业界具有最高生产效率的自动化真空预备室以及热载流传输技术，可得到最高产能
FlowFlange® 离散注射区和独立流匹配技术可提供卓越的均匀性和可重复性
在工艺周期的任意时间加载热载流传输系统，使反应室保持真空状态
自动化载流传输系统不需要在批次之间更换部件

更多信息

联系 Veeco

< 查看上一个产品查看下一个产品 > 查看所有产品