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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD )
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TurboDisc K465i GaN MOCVD 系统

 

最高的生产效率，并在同类产品中具有最高的良品率

TurboDisc® K465i™ GaN MOCVD 系统是最新推出的 Veeco K 系列平台，此系列平台已经过生产验证，具有很高的生产效率，适用于全球进行 HB LED 量产的工厂。 拥有卓越的均匀性和出色的批次可重复性，K465i 可获得 90% 的良品率 (5nm bin)。 此外，全自动化和维护后更短的恢复期也有助其实现高生产率。

  • 在业界具有最高的资本效率和最高的生产效率，同时其良品率为同类最佳
  • 基于生产验证的高产能 K465 平台
  • 采用了新的 Uniform FlowFlange® 技术，可获得最高的晶片均匀性和最大的工艺重复性
  • 设计经过简化，减轻了设备的调整工作，快速投入生产，维护之后快速复产
  • TurboDisc 技术很少需要维护，最大程度地提高了系统的可用性
  • 购置成本最低，收益率最高
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