GEN10 为自动化的研发 MBE 系统

可生长 1x3" 的外延片

最经济、灵活的该集群工具系统可在公认平台上配置最多三个用于特定材料的生长模块系统。这可以提高设备使用率，允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作。这就是为什么在任何应用领域，MBE 业界都选择使用 GEN10 系统的关键原因。

• 自动晶片传输系统提高了设备使用率，允许多名研究人员同时使用该系统和执行无人看管的生长和校准工作
• 花费较低成本即可升级到其他生长模块（最多三个）
• 可选配的材料生长模块可实现在一个真空系统中生长原本不兼容的材料
• 很容易升级为更大规模生产级别的 MBE 系统