GEN2000 Edge Production MBE 系统

3x8"、7x6"、14x4"、23x3" 外延片

GEN2000 提供高产量、较长的战略、较少的系统空间占用和组合设备工具薄片处理。它是大批量无线通信器件（例如 HBT 和 pHEMT）生产和需要低经营成本 multi-6" 生产的新兴应用场合的理想选择。

• 提供行业内最低的晶片单价
• 优异的设计支持比同类 MBE 工具更少的 40%-60% 系统空间占用率
• 模块化架构最多支持两个生长模块，提高了产量或允许生长不兼容材料
• 轻松维护，最大程度地保证了正常运行时间
• 可选隔板安装，优化了清洁室空间
• 包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件