NOVUS RF 离子源控制器

适用于 Veeco RF 有栅离子源的业界领先的功率输出系统

Veeco 的 NOVUS RF 离子源控制器拥有最先进的精密控制系统设计，可以为采用各类工艺的离子源操作提供可靠而稳定的功率。通过功率模块、改进的 RFN 操作和带有比率调节功能的集成式气体流量控制，可以在最苛刻的工艺环境中实现最佳的离子源控制能力和性能。