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TurboDisc MaxBright GaN MOCVD 多反应室系统
TurboDisc K475 As/P MOCVD 系统
TurboDisc K465i GaN MOCVD 系统
TurboDisc K465 GaN MOCVD 系统
TurboDisc E475 As/P MOCVD 系统
TurboDisc MaxBright GaN MOCVD 多反应室系统
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业界效率最高的 LED 生产平台TurboDisc® MaxBright® GaN MOCVD 多反应器系统是业界生产率最高的 MOCVD 系统，主要用于生产高品质、高亮度的发光二极管 (LED)。MaxBright 融合了 Veeco 久经考验的 Uniform FlowFlange® 技术，并采用了在模块化的 2 或 4 反应器集群架构中，集成多个高产量 MOCVD 反应器的自动化专业技术。这些反应器依托 Veeco 成功的 K465i 设计并经过改良，既拓展了晶片产能，又实现了先进的专业闭环温控功能，产量比标准的 K465i 提高了 25%。而且，K465i 的配方可以无缝传输到 MaxBright，从而快速投入生产。 |
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