类钻碳

类钻碳

使用 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系统,可沉积致密、均匀且可重复的类钻碳 (DLC) 薄膜,以获得耐久的 TFMH 滑片涂层和放置平台。Nexus DLC-X 拥有行业首个适合生产的脉冲滤波阴极电弧源,可实现小于 20A 的涂层厚度,与上几代产品相比,可支持更出色的阶梯覆盖,从而实现更好的制程良率。

NEXUS DLC-X 类钻碳系统

使用 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系统,可沉积致密、一致且可重复的 DLC 薄膜,以获得耐久的 TFMH 滑片涂层和放置平台。