离子束沉积

离子束沉积

利用离子束沉积 (IBD) 系统打造具有最大一致性和可重复性的高精度、高纯度薄膜器件。

用于光学镀膜生产商的 Quest 宽带光学监控系统

利用 Veeco 的 Quest 宽带光学监控器获得改进的可重复性和卓越的工艺控制。凭借其功能,可获得尖端光学设计的控制。

NEXUS IBD 离子束沉积系统

通过 Veeco 的第三代 NEXUS® 离子束沉积 (IBD) 系统,可以极大提高 80Gb/in2 传感器的良率,并能满足未来 TFMH 器件制造的要求。

NEXUS IBD-LDD 离子束沉积系统

Veeco 的 Nexus IBD-LDD 离子束沉积系统可沉积复杂的多层膜结构,从而满足最高级别的颗粒控制要求。