离子源

离子源

Veeco 可为广泛应用提供最全面的离子束源,其中包括行业唯一的线性有栅离子源。

有栅 DC 离子源

久经验证的线性有栅 DC 离子源,适用于使用单个大/宽基底或大批量基底且具备高度均匀度、可靠性的离子束沉积工艺平台。

无栅 End-Hall 离子源

Veeco 的无栅 End-Hall 离子源可为真空镀膜工艺提供高束电流。

有栅 RF 离子源

Veeco 的有栅 RF 离子源专为改善长时间运行的离子束沉积工艺的生产而设计。