激光加工系统

激光加工系统

Ultratech 的商用激光加工系统为制造超浅结和高度活化的源极/漏极触点这一难题提供了解决方案。

Veeco Ultratech LSA 101 激光尖峰退火系统

Veeco 的 LSA101 Ultratech 系统被全球领先的 IDM 和代工厂选用,是大批量生产从 40 纳米到 14 纳米节点的先进逻辑器件的首选技术

Veeco Ultratech LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统

LSA 201 具有与 LSA 101 相同的结构,但是包含专利的微腔设计,可以在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制