中温

中温 MBE 源几乎适用于所有应用场合,从热边 SUMO 源到热泻流标准灯丝,应有尽有。

适用于镓和铟的向下开口的 SUMO 源

向下开口 MBE SUMO® 源具有大容量、优异的流量均匀度、可忽略的快门瞬时流量和最小耗竭效果。

适用于铝的冷边 SUMO 源

使用冷边 SUMO® 源可消除损失并获得良好的厚度均匀度和流量稳定性。它是最适合 III 族材料蒸发的 MBE 源技术。

可伸缩源

Veeco 的可伸缩源能满足 MBE 的基本限制,包括实现维护和系统正常运行时间的源容量、源去除。

适用于镓和铟的热边 SUMO 源

热边 SUMO® 源可在 MBE 过程中实现优异的流量均匀度、可忽略的快门瞬时流量和最小长期耗竭效果。

抗氨化源

Veeco 抗氧化长寿命源可实现中温和分压下的精确 MBE 操作。

抗氨化源

使用 Veeco 适用于中温环境的长寿命抗氨化 MBE 源,可最大程度地提高基于氨 (NH3) 的外延的生产率和性能。

单丝源

使用单丝源,可获得满足您的大容量、高产值 MBE 过程需求的经济高效的解决方案。这些解决方案采用适用于 750-1200°C 操作的可靠带状热电偶和单加热器丝。

双丝源

双丝源的设计目的是生产高质量的含镓和铟的材料,能够防止炉料重新凝固并降低缺陷。