专用源

专用源

Veeco 提供最全面的 MBE 源选择,其中包括单灯丝和双灯丝设计。

低温气体源

借助 Veeco 的低温气体源,可低成本地为 MBE 系统引入 CBr4 和 NH3 等源气体。

可伸缩源

Veeco 的可伸缩源能满足 MBE 的基本限制,包括实现维护和系统正常运行时间的源容量、源去除。

Atom-H 源

原子氢源是设计用于 1800-2200°C 下作业的全耐火金属材料源,与大多数制备室和生长室兼容。

抗氨化源

Veeco 抗氧化长寿命源可实现中温和分压下的精确 MBE 操作。

适用于氧、氮和氢的 UNI-Bulb RF 等离子源

Uni-Bulb RF 等离子源可提供电子和光电材料的 GaN 生长最佳条件以及优异的等离子稳定性和可重现性。

气体裂解器

Veeco 气体裂解器适用于气体的高性能 UHV 交付,提供独特的功能以优化流量均匀度。