结合显微镜电气和机械组件,微机电系统 (MEMS) 设备可以感知周围环境,或与之相互作用。MEMS 能够调节我们呼吸的空气、发出 Alexa 指令、无痛测试胰岛素、培育完美的番茄等无数的事情,让这个世界变得更美好。
为物联网供电
MEMS 是旨在与现实世界交互,并将物联网 (IoT) 带入生活而设计的智能设备的核心。将我们的工具和您的想法融合起来,我们将实现您的愿景。
金属有机化学气相沉积系统 (MOCVD)
湿法处理系统
蚀刻系统
我们的团队随时准备提供帮助
日本领先的技术公司收到 Veeco 新型离子束蚀刻系统
硅半导体 - 3D 背面工艺下的 Wet Beats Dry 研究
芯片规模概览 - 使用先进单晶片工艺技术的光致抗蚀剂去胶
Veeco PSP 白皮书:湿法蚀刻 TSV 显露工艺比干法蚀刻经济性更好
Veeco 完成对 Solid State Equipment Holdings LLC 的收购
100 微米厚光刻胶薄膜的工艺特性
使用宽带步进器的超厚光刻胶的工艺改进
使用集成离子束蚀刻和离子束沉积工艺的先进传感器制造
用于低成本薄膜腔声谐振器 (FBAR) 生产的蚀刻、沉积和计量选项