• 专利设计，已有超过 50 个投入现场应用
• 经过优化可达到低工作温度下的快速响应性能
• 双丝热边加热可阻止热量集中在坩埚孔口
• 通过高气压材料，实现极佳的长期流量稳定性

Veeco 的 MBE 低温双丝源使用两个独立加热器沿着坩埚的长度方向来控制温度变动。主加热器灯丝可加热大多数坩埚。端头丝可加热坩埚的嘴部区域，以补偿这个区域增大的辐射热量损耗。源在热边模式下工作，以消除坩埚孔的材料再冷凝，从而导致源闭塞和束遮蔽。

低温双丝源封装在一种热屏蔽包装内，可在 100-750°C 的工作温度下展现极佳的源响应能力和稳定性。温度稳定性对于高蒸气压材料至关重要，因为即使是很小的温度变化也会对通量造成很大的影响。

低温双丝源还提供高性能 SUMO 设计。有关更多详情，请查看“低温 SUMO 源”数据表

性能和优势

低温双丝源采用精准的定制设计，旨在满足蒸发高蒸气压材料的要求。

优势包括：

• 在较低的操作温度下，具有最佳性能
• 实现快速流量稳定性
• 卓越的长期流量稳定性

双丝“热边”加热可阻止在坩埚孔口发生冷凝。这种作用已通过锑、碲和铅化合物等一系列“难处理”的材料得到证实。