Veeco 的 Molly® 生长控制软件和 Lot Manager 计划软件为研究和生产 MBE 系统提供全面集成的软件控制解决方案。Molly 用于完成和简化可执行生长过程的配方的写入和运行，而 Lot Manager 则管理 Veeco 自动化生产 MBE 系统的自动化运行。

Molly 生长控制软件

• 监测与控制
  Molly 与包括电源、RHEED、高温计和其他现场监测工具在内的系统组件进行接口。可以清晰地显示包括温度、压力和位置在内的系统状态，并且可直接设置控制设定点。
  警报可提醒用户异常情况，并可用于防止配方
• 生长配方编辑器
  使用外延特定的配方编辑器和易于使用的配方构建块轻松创建生长配方。使用 Molly 内置脚本语言 MollyScript™ 的强大功能，可以创建更复杂的例程。
• EpiTrend™ 数据记录器和查看器
  EpiTrend 是始终开启的数据记录器和查看器。系统中的每个状态和控制信号都被持续记录下来。可以使用内置查看器查看和比较数据。
  还可以导出数据用于外部分析。

Lot Manager 计划软件

• 自动压板传输
  批次表计划压板传输和配方执行。高度灵活的批次表可实现定制模块序列。可选依赖项允许同步关键进程。
  传输优化可通过并行操作、同时在多个模块中运行配方来提高吞吐量。
• 手动操作
  通过快速、简单的拖放操作来进行手动压板传输。直接从模块操作控件访问手动模块操作。
• 系统状态
  可自定义概览屏幕显示压板位置、裂隙阀状态、模块状态和其他控制信号信息。
• EpiMoveTM 手动系统控制
  在您需要时进行手动和维护控制。EpiMove 在便携式耐用型手持式计算机上运行。