使用 Veeco 的 NEXUS DLC-X 系统,可沉积致密的、一致且可重复的薄类钻碳 (DLC) 薄膜,以获得耐久的薄膜磁头 (TFMH) 滑片涂层和放置平台。Nexus DLC-X 拥有行业领先的适合生产的脉冲滤波阴极电弧源,可实现小于 20A 的涂层厚度,与上几代产品相比,可支持改进的步进范围,实现更好的工艺产出。
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