磷阀式裂解器温度控制器

准确、稳定地控制流量不稳定性

Veeco 磷阀式裂解器温度控制器适用于现有和新的磷阀式裂解器,可确保对因环境条件变化(例如空气温度或水冷温度)而造成的白色区域温度不稳定性进行精确、稳定的控制。温度控制器的工作原理是将白色区域温度恒定保持在 ±0.05°C 以内,从而使得磷通量稳定性 <±1%。此外,相对于手动设置白色区域空气流量的情况而言,温度控制器还可让用户正确地设置白色区域的温度,从而大大简化阀式裂解器工艺设置。

  • 将磷白色区域温度保持在 ±0.05°C 内,将流量保持在 ±1% 内
  • 与所有 Veeco 磷阀式裂解器兼容
  • 消除由于水温、空气温度和气流造成的磷流量不稳定性

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