SOLUS DC 离子源控制器
适用于 Veeco DC 有栅离子源的业界领先的功率交付系统
Veeco 的 SOLUS™ DC 离子源控制器拥有最先进的精密控制系统设计，可以为采用各类工艺的离子源操作提供可靠而稳定的功率。通过整合功率模块和带有比率调节功能的气体流量控制，可以在最苛刻的工艺环境中实现最佳的离子源控制能力和性能。
- 易于使用的单键操作
- 提供手动、自动和远程操作选项
- 一流的控制能力，可以提高等离子源的稳定性
- 集成且可配置的气体流量控制
- 可定制的控制设置，实现量身定做的源操作
- 省时的故障排除功能
- 实用的事件和状态记录屏幕