达到物理气相沉积速率的离子束光学镀膜
配备 SPECTOR-HT™ 高级离子束溅镀系统,不仅可以生产出质量最佳的光学薄膜,还可以提升生产率和产量。SPECTOR-HT 系统以 SPECTOR® 离子束系统系列久经考验的优异性能为基础,可实现极佳的层厚度控制和更出色的工艺稳定性,而且光损耗在业内已公布的数据中也属最低。
对于带通滤波器、分束器以及无源式激光器等前沿光波干扰镀膜应用,SPECTOR-HT 的设计可以改善一些关键生产参数,如靶材利用率、光学端点控制和加工时间。SPECTOR-HT 将离子束溅镀 (IBS) 技术的诸多固有优势——低散射损耗、高薄膜纯度、稳定的沉积率和低于 0.1 纳米的薄膜厚度控制——整合到一个更为强大的套件中,从而显著提升制造商的产量并降低其拥有成本。