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激光加工系统
Veeco 开发了革命性的技术产品,可在最先进的技术节点实现热退火解决方案。
激光加工系统
Veeco 提供在最先进技术节点上具有革命性的低拥有成本、HVM 生产经过验证的热退火解决方案。
通过领先激光尖峰退火技术创造实质性的变化
低热预算 - 通过无扩散超级激活改善了关键设备性能
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LSA 101 激光尖峰退火系统
Veeco 的 LSA101 系统被全球领先的 IDM 和代工厂选用,是大批量生产……的首选技术
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LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统
激光尖峰退火 201 具有与 LSA 101 相同的结构,但是包含专利微腔设计,可以……
阅读详情
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