自组装单分子膜 (SAMS)

自组装单分子膜 (SAMS)

Savannah® SAMS 试剂盒选项可通过蒸汽相中的自组装来沉积各种有机单层。由于 SAMS 在蒸汽相中沉积的自我限制性质,即使在更严格的 3D 纳米结构上,SAMS 膜也具有高度的保形性和均匀性。另外,完全组装的单层可在几分钟内实现,而在液相中需要 24-48 小时。结合原位诊断 (QCM、椭圆偏振术)以及原子层沉积 (ALD) 能力,这展现了一种优良的研发解决方案,可沉积各种有机/无机薄膜。

气相沉积 SAMS

自组装单层的气相沉积是一种用于快速将各种表面(包括金属、氧化物、聚合物和纺织品)功能化的多功能和低成本解决方案。通过低热预算工艺 (< 100°C),表面属性可以在原子级进行定制,以实现最佳的性能,包括控制润湿性(疏水性、亲水性)、附着力和粘滞作用、电气、化学品和生化性质等等。SAMS 还可为锚固纳米颗粒、生物分子或用作种子层的理想载体,也已成功用于选择性区域沉积。

通过气相沉积,稳定的单层可以在 5-10 分钟内均匀沉积,包括在 MEMS 和 NEMS 中遇到的复杂的 3D 微型和纳米结构上。这种基于真空的干燥工艺可确保样品清洁度并与我们的原子层沉积 (ALD) 工艺的集成,使研究人员能够通过混合有机/无机合成调整表面属性。

可以沉积各种 SAMS 薄膜,包括硅烷、硫醇和膦酸。

SAMS 应用

  • 用于选择性区域原子层沉积 (ALD) 的抑制层
  • 有机薄膜晶体管
  • 适用于柔性电子产品的渗透涂层
  • 纳米结构功能化
  • MEMS 防粘连
  • 生物感应/细胞粘附/蛋白吸附
  • 适用于润湿性/渗透性控制的大表面积涂层

 

SAMS 选项能够快速将各种表面功能化,以控制润湿性。以下是通过 FDTS 涂层功能化硅表面的示例,暴露 10 分钟后形成 115˚ 水接触角

 

 

带原子层沉积 (ALD) 种子层的 FDTS 上的 119°水接触角

SAMS 套件选项可以准确控制 SAMS 剂量,以实现最佳性能和可重复性

 

使用气相沉积的 SAMS 提供了一种快速、多用途的方法,以选择性地沉积原子层沉积 (ALD) 膜。在以下示例中,我们有选择地在铜和 SiO2 上沉积 C18 SAMS,以随后抑制氮化铪在铜上而不在 SiO2 上的原子层沉积 (ALD) 生长。这项工作是 IMEC 与 Silvia Armini 研究团队合作的一部分。

 

SAMS 套件规格

系统 Savannah® S100,200 & 300
最大工具包/工具 高达 2
基质尺寸 S300 高达 300 mm
典型运行时间 5-20 分钟
剂量控制 ±0.5µmol
前体温度 高达 200˚C
累加器温度 100˚C,带压力计
高达 150˚C(不带压力计)
剂量压力范围 0-10 托,带 Baratron
共同反应物 H2O、臭氧、空气
种子层 原子层沉积 (ALD) 氧化物和金属
带吹扫试剂盒的 Adixen 2021C2
软件集成,
端点控制
标准实施
Savannah® 软件
FDTS 接触角 >110˚
FOTS 角度 >105˚
DTS 角度 >100˚