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原子层沉积
器件节点不断缩小,10nm 和 7nm 节点已经投产,而开发则已进行到 3nm。我们的原子层沉积 (ALD)工具即使在最细的节点上也能为您提供极致的精度和均匀的涂层。
原子层沉积 (ALD)系统
器件节点不断缩小,10nm 和 7nm 节点已经投产,而开发则已进行到 3nm。我们的原子层沉积 (ALD)工具即使在最细的节点上也能为您提供极致的精度和均匀的涂层。
参考文献
Firebird – 大批量生产用批量原子层沉积 (ALD)
Firebird™ 系统是一种全自动批量生产原子层沉积 (ALD) 平台,能够以尽可能低的单晶片成本提供最佳的均匀性和同类最佳……
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Phoenix – 批量生产原子层沉积 (ALD)
经过现场验证的半自动批次 Phoenix® 系统可为中等规模批量生产提供不折不扣的性能。
阅读详情
Savannah – 用于研发的热力原子层沉积 (ALD)
Savannah® 是全球大学参与原子层沉积 (ALD) 并寻找经济实惠且稳健平台的研究人员的首选……
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Fiji – 用于研发的等离子增强原子层沉积 (ALD)
我们的 Fiji® 系列是一款模块化的高真空原子层沉积 (ALD) 系统,可适应各种沉积模式,其使用……
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