原子层沉积

器件节点不断缩小,10nm 和 7nm 节点已经投产,而开发则已进行到 3nm。我们的原子层沉积 (ALD)工具即使在最细的节点上也能为您提供极致的精度和均匀的涂层。

原子层沉积 (ALD)系统

器件节点不断缩小,10nm 和 7nm 节点已经投产,而开发则已进行到 3nm。我们的原子层沉积 (ALD)工具即使在最细的节点上也能为您提供极致的精度和均匀的涂层。参考文献

Firebird™ 系统是一种全自动批量生产原子层沉积 (ALD) 平台,能够以尽可能低的单晶片成本提供最佳的均匀性和同类最佳……
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